ACM Research ilmoitti 21. lokakuuta 2026 lisänneensä rikkihapon kierrätyksen 170 °C:n yksittäisiä kiekkoja käsittelevään Hot Sulfuric Peroxide Mixture (SPM) -puhdistusjärjestelmäänsä. Puolijohdelaitteiden toimittajan mukaan tehostettu järjestelmä kierrättää rikkihaposta 70 % ja säilyttää samalla asiakkaiden edellyttämän hiukkaskontrollin.
Tärkeimmät nostot
- ACM:n mukaan uusi ominaisuus kierrättää 70 % rikkihaposta ja säilyttää hiukkaskontrollin suorituskyvyn.
- Valimoasiakas on validoinut järjestelmän yli 50 prosessikerroksella.
- ACM odottaa kierrätysominaisuuden säästävän noin 400 tonnia rikkihappoa työkalua kohden vuodessa.
Sisällysluettelo
- ACM Research tavoittelee kemikaalien kulutuksen vähentämistä
- Hiukkaskontrolli on edelleen suunnittelun keskiössä
- Yhteenveto
ACM Research tavoittelee kemikaalien kulutuksen vähentämistä
Päivityksen tavoitteena on vähentää kemikaalien käyttöä ottamalla rikkihappo talteen ja käyttämällä se uudelleen kiekkojen puhdistuksessa. ACM arvioi vuotuisten säästöjen olevan noin 400 tonnia työkalua kohden. Yhtiö esittää lukua odotettuna hyötynä, ei toteutuneena käyttötuloksena.
Yhtiön mukaan valimoasiakas oli validoinut järjestelmän yli 50 prosessikerroksella, mikä tukee sen käyttöä laajassa joukossa puhdistussovelluksia. Ilmoituksessa ei nimetty asiakasta.
SPM:ää käytetään puolijohteiden valmistuksessa fotoresistin poistamiseen sekä orgaanisten polymeerijäämien, metallisten epäpuhtauksien ja hiukkasten poistamiseen ja kiekkojen puhdistamiseen kemiallis-mekaanisen kiillotuksen jälkeen.
Hiukkaskontrolli on edelleen suunnittelun keskiössä
ACM:n mukaan sen yksittäisiä kiekkoja käsittelevän Hot SPM -järjestelmän hiukkaslaskenta on enintään 15 hiukkasta, joiden koko on vähintään 15 nanometriä. Yhtiön mukaan uusi kierrätysominaisuus säilyttää hiukkaskontrollin suorituskyvyn asiakkaan määritysten mukaisena.
Järjestelmässä on myös oma suutinsuunnittelu, jonka tarkoituksena on estää happosumun aiheuttamien kiteisten kerrostumien synnyttämä kontaminaatio. ACM:n mukaan tämän rakenteen ansiosta ei tarvita tavanomaisissa järjestelmissä vaadittavaa kammion säännöllistä puhdistusta deionisoidulla vedellä.
ACM:n mukaan rakenne voi vähentää laitteiston huoltotarvetta ja parantaa saantoja logiikka- ja muistipiirisovelluksissa. Nämä mahdolliset hyödyt ja ennakoidut happosäästöt ovat edelleen yhtiön odotuksia.
Yhteenveto
Parannuksessa yhdistyvät asiakkaan validoima puhdistustulos ja hapon kierrätys. ACM:n ennakoimat kemikaalisäästöt ovat odotettu hyöty, eivät toteutunut vuotuinen tulos.
Lue lisää uutisia
Vastuuvapauslauseke
Tämä FinanceVelix-artikkeli sisältää yleistä tietoa, eikä se ole henkilökohtaista talous-, sijoitus-, oikeudellista tai veroneuvontaa. Markkinahinnat, korot ja talousolot voivat muuttua; sijoituksiin liittyy tappioriski. Tiedot perustuvat julkaisuhetkellä saatavilla olleeseen aineistoon ja voivat muuttua. Tarkista tärkeät tiedot itsenäisesti ja konsultoi tarvittaessa pätevää asiantuntijaa. Omaisuuden, yhtiön tai palvelun mainitseminen ei ole suositus.
