ACM Research, 21 Ekim 2026’da, 170°C’de çalışan tek gofretlik Sıcak Sülfürik Peroksit Karışımı (SPM) temizleme sistemine sülfürik asit geri dönüşümünü eklediğini duyurdu. Yarı iletken ekipman tedarikçisi, geliştirilmiş sistemin müşterilerin talep ettiği parçacık kontrolünü korurken %70 sülfürik asit geri dönüşüm oranına ulaştığını belirtti.

Öne Çıkanlar

  • ACM’ye göre yeni özellik, parçacık kontrol performansını korurken sülfürik asidin %70’ini geri dönüştürüyor.
  • Bir dökümhane müşterisi sistemi 50’den fazla proses katmanında doğruladı.
  • ACM, geri dönüşüm özelliğinin her bir ekipman başına yılda yaklaşık 400 ton sülfürik asit tasarrufu sağlamasını bekliyor.

İçindekiler

ACM Research, kimyasal tüketimini azaltmayı hedefliyor

Güncelleme, gofret temizliği sırasında sülfürik asidi geri kazanıp yeniden kullanarak kimyasal kullanımını azaltmayı amaçlıyor. ACM, ekipman başına yıllık yaklaşık 400 ton tasarruf tahmin ediyor ve bu rakamı gerçekleşmiş bir işletme sonucu olarak değil, beklenen bir fayda olarak sunuyor.

Şirket, bir dökümhane müşterisinin sistemi 50’den fazla proses katmanında doğruladığını ve bunun sistemin çok çeşitli temizlik uygulamalarında kullanılmasını desteklediğini söyledi. Duyuruda müşterinin kimliği açıklanmadı.

SPM, yarı iletken üretiminde fotorezisti soymak, organik polimer kalıntılarını, metalik safsızlıkları ve parçacıkları gidermek ve kimyasal mekanik parlatma sonrasında gofretleri temizlemek için kullanılıyor.

Parçacık kontrolü tasarımın merkezinde kalıyor

ACM, tek gofretlik Sıcak SPM sisteminin 15 nanometre ve üzeri boyuttaki parçacıklar için 15 veya daha az parçacık sayısına ulaştığını belirtti. Şirket, yeni geri dönüşüm özelliğinin müşteri spesifikasyonları dahilinde parçacık kontrol performansını koruduğunu söyledi.

Sistem ayrıca, asit sisi nedeniyle oluşan kristal birikintilerinden kaynaklı kirlenmeyi önlemek üzere tasarlanmış patentli bir nozul tasarımı kullanıyor. ACM’ye göre bu tasarım, geleneksel sistemlerde gereken periyodik deiyonize suyla hazne temizliği ihtiyacını ortadan kaldırıyor.

ACM, tasarımın ekipman bakım gereksinimlerini azaltabileceğini ve mantık devresi ile bellek uygulamalarında verimlerin iyileştirilmesine yardımcı olabileceğini belirtti. Bu potansiyel faydalar, öngörülen asit tasarrufuyla birlikte, şirketin beklentileri olmaya devam ediyor.

Sonuç

Bu geliştirme, müşteri tarafından doğrulanmış temizlik performansını asit geri dönüşümüyle bir araya getiriyor. ACM'nin öngördüğü kimyasal tasarrufu, tamamlanmış bir yıllık sonuç değil, beklenen bir faydadır.

Daha Fazla Haber Okuyun

Daha fazla FinanceVelix haberi

Sorumluluk Reddi

Bu FinanceVelix makalesi genel bilgilendirme amaçlıdır; kişiye özel finansal, yatırım, hukuki veya vergi danışmanlığı niteliği taşımaz. Piyasa fiyatları, faiz oranları ve ekonomik koşullar değişebilir; yatırımlar zarar riski taşır. Bilgiler, yayımlandığı sırada mevcut olan materyali yansıtır ve değişebilir. Önemli bilgileri bağımsız olarak doğrulayın ve gerektiğinde nitelikli bir uzmana danışın. Bir varlığın, şirketin veya hizmetin anılması, bunların onaylandığı anlamına gelmez.