أعلنت ACM Research في 21 أكتوبر 2026 أنها أضافت إعادة تدوير حمض الكبريتيك إلى نظامها لتنظيف الرقائق أحادية الشريحة بمزيج حمض الكبريتيك والبيروكسيد (SPM) الساخن عند 170°C. وقالت الشركة المورّدة لمعدات أشباه الموصلات إن النظام المطوّر يحقق معدل إعادة تدوير لحمض الكبريتيك يبلغ 70%، مع الحفاظ على التحكم في الجسيمات وفق متطلبات العملاء.
أهم النقاط
- تعيد الإمكانية الجديدة تدوير 70% من حمض الكبريتيك مع الحفاظ على أداء التحكم في الجسيمات، وفقًا لـACM.
- تحقق عميل من عملاء المسابك من صلاحية النظام عبر أكثر من 50 طبقة معالجة.
- تتوقع ACM أن توفر إمكانية إعادة التدوير نحو 400 طن من حمض الكبريتيك لكل أداة سنويًا.
جدول المحتويات
- تستهدف ACM Research خفض استهلاك المواد الكيميائية
- يظل التحكم في الجسيمات محورًا أساسيًا في التصميم
- الخلاصة
تستهدف ACM Research خفض استهلاك المواد الكيميائية
يهدف التطوير إلى تقليل استخدام المواد الكيميائية من خلال استعادة حمض الكبريتيك وإعادة استخدامه أثناء تنظيف الرقائق. وتقدّر ACM الوفورات السنوية بنحو 400 طن لكل أداة، وتعرض هذا الرقم بوصفه منفعة متوقعة لا نتيجة تشغيلية مُعلنة.
وقالت الشركة إن عميلًا من عملاء المسابك تحقّق من صلاحية النظام عبر أكثر من 50 طبقة معالجة، ما يدعم استخدامه في مجموعة واسعة من تطبيقات التنظيف. ولم تكشف الشركة عن هوية العميل في الإعلان.
يُستخدم SPM في تصنيع أشباه الموصلات لإزالة مقاوم الضوء، والتخلص من بقايا البوليمرات العضوية والشوائب المعدنية والجسيمات، وتنظيف الرقائق بعد التلميع الكيميائي الميكانيكي.
يظل التحكم في الجسيمات محورًا أساسيًا في التصميم
قالت ACM إن نظامها أحادي الشريحة للتنظيف بتقنية SPM الساخنة يحقق أعدادًا للجسيمات لا تتجاوز 15 للجسيمات التي يبلغ قياسها 15 نانومترًا فأكثر. وأضافت الشركة أن إمكانية إعادة التدوير الجديدة تحافظ على أداء التحكم في الجسيمات ضمن مواصفات العملاء.
ويستخدم النظام أيضًا تصميمًا خاصًا للفوهة يهدف إلى منع التلوث الناجم عن الترسبات البلورية التي يسببها رذاذ الحمض. ووفقًا لـACM، يلغي هذا التصميم الحاجة إلى التنظيف الدوري لحجرة المعالجة بالماء منزوع الأيونات، وهو إجراء تتطلبه الأنظمة التقليدية.
وقالت ACM إن التصميم يمكن أن يقلل متطلبات صيانة المعدات ويساعد على تحسين المردود في تطبيقات المنطق والذاكرة. وتظل هذه المنافع المحتملة، إلى جانب الوفورات المتوقعة في الحمض، ضمن توقعات الشركة.
الخلاصة
يجمع هذا التطوير بين أداء تنظيف جرى التحقق منه من قبل العملاء وإعادة تدوير الحمض. وتُعد الوفورات المتوقعة في المواد الكيميائية التي تشير إليها ACM منفعة منتظرة، وليست نتيجة سنوية محققة.
اقرأ المزيد من الأخبار
إخلاء المسؤولية
تقدم هذه المقالة من FinanceVelix معلومات عامة، ولا تشكل نصيحة مالية أو استثمارية أو قانونية أو ضريبية مخصصة. وقد تتغير أسعار السوق وأسعار الفائدة والظروف الاقتصادية؛ وتنطوي الاستثمارات على مخاطر الخسارة. وتعكس الحقائق المواد المتاحة وقت النشر وقد تتغير. تحقّق بشكل مستقل من المعلومات المهمة واستشر مختصًا مؤهلًا عند الحاجة. ولا يُعد ذكر أصل أو شركة أو خدمة تأييدًا لها.
