Η ACM Research ανακοίνωσε στις 21 Οκτωβρίου 2026 ότι πρόσθεσε ανακύκλωση θειικού οξέος στο σύστημα καθαρισμού με Θερμό Μείγμα Θειικού Οξέος και Υπεροξειδίου (SPM) στους 170°C, το οποίο επεξεργάζεται ένα πλακίδιο κάθε φορά. Ο προμηθευτής εξοπλισμού ημιαγωγών ανέφερε ότι το αναβαθμισμένο σύστημα επιτυγχάνει ποσοστό ανακύκλωσης θειικού οξέος 70%, διατηρώντας παράλληλα τον έλεγχο σωματιδίων που απαιτούν οι πελάτες.
Βασικά σημεία
- Η νέα δυνατότητα ανακυκλώνει το 70% του θειικού οξέος, διατηρώντας τις επιδόσεις ελέγχου σωματιδίων, σύμφωνα με την ACM.
- Πελάτης χυτηρίου ημιαγωγών έχει επικυρώσει το σύστημα σε περισσότερα από 50 επίπεδα διεργασίας.
- Η ACM αναμένει ότι η δυνατότητα ανακύκλωσης θα εξοικονομεί περίπου 400 τόνους θειικού οξέος ανά εργαλείο ετησίως.
Πίνακας περιεχομένων
- Η ACM Research επιδιώκει τη μείωση της κατανάλωσης χημικών
- Ο έλεγχος σωματιδίων παραμένει βασικός σχεδιαστικός στόχος
- Συμπέρασμα
Η ACM Research επιδιώκει τη μείωση της κατανάλωσης χημικών
Η αναβάθμιση αποσκοπεί στη μείωση της χρήσης χημικών μέσω της ανάκτησης και επαναχρησιμοποίησης θειικού οξέος κατά τον καθαρισμό των πλακιδίων. Η ACM εκτιμά την ετήσια εξοικονόμηση σε περίπου 400 τόνους ανά εργαλείο, παρουσιάζοντας αυτό το μέγεθος ως αναμενόμενο όφελος και όχι ως αναφερόμενο λειτουργικό αποτέλεσμα.
Η εταιρεία ανέφερε ότι πελάτης χυτηρίου ημιαγωγών είχε επικυρώσει το σύστημα σε περισσότερα από 50 επίπεδα διεργασίας, γεγονός που υποστηρίζει τη χρήση του σε ευρύ φάσμα εφαρμογών καθαρισμού. Η ανακοίνωση δεν κατονομάζει τον πελάτη.
Το SPM χρησιμοποιείται στην κατασκευή ημιαγωγών για την αφαίρεση φωτοαντιστάσεων, υπολειμμάτων οργανικών πολυμερών, μεταλλικών προσμίξεων και σωματιδίων, καθώς και για τον καθαρισμό πλακιδίων μετά τη χημικομηχανική στίλβωση.
Ο έλεγχος σωματιδίων παραμένει βασικός σχεδιαστικός στόχος
Η ACM ανέφερε ότι το σύστημα Hot SPM, το οποίο επεξεργάζεται ένα πλακίδιο κάθε φορά, επιτυγχάνει αριθμό σωματιδίων 15 ή λιγότερα για σωματίδια διαμέτρου 15 νανομέτρων και άνω. Σύμφωνα με την εταιρεία, η νέα δυνατότητα ανακύκλωσης διατηρεί τις επιδόσεις ελέγχου σωματιδίων εντός των προδιαγραφών των πελατών.
Το σύστημα χρησιμοποιεί επίσης ιδιόκτητο σχεδιασμό ακροφυσίου, με στόχο την αποτροπή μόλυνσης από κρυσταλλικά ιζήματα που προκαλεί η όξινη ομίχλη. Σύμφωνα με την ACM, ο σχεδιασμός αυτός καταργεί την ανάγκη για τον περιοδικό καθαρισμό του θαλάμου με απιονισμένο νερό που απαιτούν τα συμβατικά συστήματα.
Η ACM ανέφερε ότι ο σχεδιασμός μπορεί να μειώσει τις απαιτήσεις συντήρησης του εξοπλισμού και να συμβάλει στη βελτίωση των αποδόσεων σε εφαρμογές λογικής και μνήμης. Αυτά τα πιθανά οφέλη, μαζί με την προβλεπόμενη εξοικονόμηση οξέος, παραμένουν προσδοκίες της εταιρείας.
Συμπέρασμα
Η αναβάθμιση συνδυάζει επιδόσεις καθαρισμού επικυρωμένες από πελάτη με ανακύκλωση οξέος. Η προβλεπόμενη εξοικονόμηση χημικών από την ACM αποτελεί αναμενόμενο όφελος και όχι ήδη επιτευχθέν ετήσιο αποτέλεσμα.
Διαβάστε περισσότερα νέα
Περισσότερα νέα από το FinanceVelix
Αποποίηση ευθύνης
Το παρόν άρθρο του FinanceVelix παρέχει γενικές πληροφορίες και όχι εξατομικευμένες χρηματοοικονομικές, επενδυτικές, νομικές ή φορολογικές συμβουλές. Οι τιμές της αγοράς, τα επιτόκια και οι οικονομικές συνθήκες μπορούν να μεταβληθούν· οι επενδύσεις ενέχουν κίνδυνο απώλειας. Τα γεγονότα αντανακλούν το υλικό που ήταν διαθέσιμο κατά τη δημοσίευση και ενδέχεται να αλλάξουν. Επαληθεύστε ανεξάρτητα τις σημαντικές πληροφορίες και συμβουλευτείτε ειδικευμένο επαγγελματία όταν χρειάζεται. Η αναφορά σε περιουσιακό στοιχείο, εταιρεία ή υπηρεσία δεν συνιστά σύσταση.
