Η ACM Research ανακοίνωσε στις 21 Οκτωβρίου 2026 ότι πρόσθεσε την ανακύκλωση θειικού οξέος στο σύστημα καθαρισμού μείγματος θερμού θειικού υπεροξειδίου (SPM) 170°C. Ο προμηθευτής εξοπλισμού ημιαγωγών είπε ότι το βελτιωμένο σύστημα επιτυγχάνει ρυθμό ανακύκλωσης θειικού οξέος 70%, διατηρώντας παράλληλα τον έλεγχο των σωματιδίων που απαιτείται από τον πελάτη.
Βασικά Takeaways
- Η νέα ικανότητα ανακυκλώνει το 70% του θειικού οξέος διατηρώντας παράλληλα την απόδοση ελέγχου σωματιδίων, σύμφωνα με την ACM.
- Ένας πελάτης χυτηρίου έχει επικυρώσει το σύστημα σε περισσότερα από 50 επίπεδα διεργασίας.
- Η ACM αναμένει ότι η ικανότητα ανακύκλωσης θα εξοικονομήσει περίπου 400 τόνους θειικού οξέος ανά εργαλείο ετησίως.
Πίνακας περιεχομένων
- Η ACM Research στοχεύει σε χαμηλότερη κατανάλωση χημικών
- Ο έλεγχος των σωματιδίων παραμένει κεντρικός στο σχεδιασμό
- Συμπέρασμα
Η ACM Research στοχεύει σε χαμηλότερη κατανάλωση χημικών
Η αναβάθμιση αποσκοπεί στη μείωση της χρήσης χημικών με την ανάκτηση και επαναχρησιμοποίηση θειικού οξέος κατά τον καθαρισμό της γκοφρέτας. Η ACM εκτιμά ετήσια εξοικονόμηση περίπου 400 τόνων ανά εργαλείο, παρουσιάζοντας αυτόν τον αριθμό ως αναμενόμενο όφελος και όχι ως αναφερόμενο λειτουργικό αποτέλεσμα.
Η εταιρεία είπε ότι ένας πελάτης χυτηρίου είχε επικυρώσει το σύστημα σε περισσότερα από 50 επίπεδα διεργασίας, υποστηρίζοντας τη χρήση του σε ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών καθαρισμού. Η ανακοίνωση δεν κατονόμασε τον πελάτη.
Το SPM χρησιμοποιείται στην κατασκευή ημιαγωγών για την απογύμνωση φωτοανθεκτικών, την αφαίρεση υπολειμμάτων οργανικού πολυμερούς, μεταλλικών ακαθαρσιών και σωματιδίων και τον καθαρισμό πλακών μετά από χημική μηχανική στίλβωση.
Ο έλεγχος των σωματιδίων παραμένει κεντρικός στο σχεδιασμό
Η ACM είπε ότι το σύστημα Hot SPM μονής γκοφρέτας επιτυγχάνει αριθμό σωματιδίων 15 ή λιγότερους για σωματίδια μεγέθους 15 νανόμετρων και άνω. Η νέα δυνατότητα ανακύκλωσης διατηρεί την απόδοση ελέγχου σωματιδίων σύμφωνα με τις προδιαγραφές των πελατών, είπε η εταιρεία.
Το σύστημα χρησιμοποιεί επίσης έναν ιδιόκτητο σχεδιασμό ακροφυσίων που προορίζεται να αποτρέψει τη μόλυνση από κρυσταλλικές εναποθέσεις που προκαλούνται από όξινη ομίχλη. Σύμφωνα με την ACM, αυτός ο σχεδιασμός αφαιρεί την ανάγκη για περιοδικό καθαρισμό θαλάμου απιονισμένου νερού που απαιτείται από τα συμβατικά συστήματα.
Η ACM είπε ότι ο σχεδιασμός μπορεί να μειώσει τις απαιτήσεις συντήρησης του εξοπλισμού και να βοηθήσει στη βελτίωση των αποδόσεων σε εφαρμογές λογικής και μνήμης. Αυτά τα πιθανά οφέλη, μαζί με την προβλεπόμενη εξοικονόμηση οξέος, παραμένουν προσδοκίες της εταιρείας.
Συμπέρασμα
Η βελτίωση συνδυάζει την απόδοση καθαρισμού που έχει επικυρωθεί από τον πελάτη με την ανακύκλωση οξέος. Η προβλεπόμενη εξοικονόμηση χημικών της ACM είναι ένα αναμενόμενο όφελος και όχι ένα ολοκληρωμένο ετήσιο αποτέλεσμα.
Διαβάστε περισσότερα Νέα
Αποποίηση ευθυνών
Αυτό το FinanceVelix άρθρο παρέχει γενικές πληροφορίες, όχι εξατομικευμένες οικονομικές, επενδυτικές, νομικές ή φορολογικές συμβουλές. Οι τιμές της αγοράς, τα επιτόκια και οι οικονομικές συνθήκες μπορεί να αλλάξουν. Οι επενδύσεις ενέχουν κίνδυνο απώλειας. Τα γεγονότα αντικατοπτρίζουν το υλικό που είναι διαθέσιμο όταν δημοσιεύονται και ενδέχεται να αλλάξουν. Ελέγξτε σημαντικές πληροφορίες ανεξάρτητα και συμβουλευτείτε έναν εξειδικευμένο επαγγελματία όταν χρειάζεται. Η αναφορά ενός περιουσιακού στοιχείου, μιας εταιρείας ή μιας υπηρεσίας δεν αποτελεί έγκριση.
