ACM Research ने 21 अक्टूबर, 2026 को घोषणा की कि उसने अपने 170°C सिंगल-वेफर हॉट सल्फ्यूरिक पेरोक्साइड मिक्सचर (SPM) क्लीनिंग सिस्टम में सल्फ्यूरिक एसिड रीसाइक्लिंग की सुविधा जोड़ी है। सेमीकंडक्टर उपकरण आपूर्तिकर्ता ने कहा कि उन्नत सिस्टम ग्राहक द्वारा अपेक्षित कण नियंत्रण बनाए रखते हुए 70% सल्फ्यूरिक एसिड रीसाइक्लिंग दर हासिल करता है।
मुख्य बातें
- ACM के अनुसार, नई सुविधा कण-नियंत्रण प्रदर्शन बनाए रखते हुए 70% सल्फ्यूरिक एसिड रीसायकल करती है।
- एक फाउंड्री ग्राहक ने 50 से अधिक प्रोसेस लेयर में सिस्टम का सत्यापन किया है।
- ACM को उम्मीद है कि रीसाइक्लिंग सुविधा से प्रति उपकरण सालाना लगभग 400 टन सल्फ्यूरिक एसिड की बचत होगी।
विषय-सूची
ACM Research का लक्ष्य रसायनों की खपत घटाना
इस अपग्रेड का उद्देश्य वेफर की सफाई के दौरान सल्फ्यूरिक एसिड को पुनः प्राप्त कर उसका दोबारा उपयोग करके रसायनों की खपत घटाना है। ACM का अनुमान है कि प्रति उपकरण सालाना लगभग 400 टन की बचत होगी। कंपनी ने इस आंकड़े को अपेक्षित लाभ के रूप में पेश किया है, न कि परिचालन के किसी रिपोर्ट किए गए परिणाम के रूप में।
कंपनी ने कहा कि एक फाउंड्री ग्राहक ने 50 से अधिक प्रोसेस लेयर में सिस्टम का सत्यापन किया है, जिससे सफाई के व्यापक अनुप्रयोगों में इसके उपयोग को समर्थन मिलता है। घोषणा में ग्राहक की पहचान नहीं बताई गई।
सेमीकंडक्टर निर्माण में SPM का उपयोग फोटोरेजिस्ट हटाने, जैविक पॉलिमर अवशेष, धात्विक अशुद्धियां और कण निकालने, तथा रासायनिक-यांत्रिक पॉलिशिंग के बाद वेफर साफ करने के लिए किया जाता है।
डिजाइन में कण नियंत्रण अब भी केंद्रीय
ACM ने कहा कि उसका सिंगल-वेफर हॉट SPM सिस्टम 15 नैनोमीटर या उससे बड़े कणों के लिए 15 या उससे कम कण-गणना हासिल करता है। कंपनी के अनुसार, नई रीसाइक्लिंग सुविधा ग्राहक विनिर्देशों के भीतर कण-नियंत्रण प्रदर्शन बनाए रखती है।
सिस्टम में एक मालिकाना नोज़ल डिजाइन भी है, जिसका उद्देश्य एसिड मिस्ट से बनने वाले क्रिस्टलीय जमाव के कारण होने वाले संदूषण को रोकना है। ACM के अनुसार, इस डिजाइन से पारंपरिक सिस्टमों में आवश्यक डीआयोनाइज्ड-वॉटर से चैंबर की आवधिक सफाई की जरूरत समाप्त हो जाती है।
ACM ने कहा कि यह डिजाइन उपकरण के रखरखाव की आवश्यकताएं घटा सकता है और लॉजिक तथा मेमोरी अनुप्रयोगों में यील्ड बेहतर करने में मदद कर सकता है। एसिड की अनुमानित बचत सहित ये संभावित लाभ कंपनी की अपेक्षाएं हैं।
निष्कर्ष
यह सुधार ग्राहक-सत्यापित सफाई प्रदर्शन को एसिड रीसाइक्लिंग के साथ जोड़ता है। ACM की अनुमानित रासायनिक बचत एक अपेक्षित लाभ है, न कि सालाना पूरा हो चुका परिणाम।
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