Az ACM Research 2026. október 21-én bejelentette, hogy kénsav-újrahasznosítással bővítette 170 °C-os, egywaferes forró kénsav-peroxid keverékes (SPM) tisztítórendszerét. A félvezetőipari berendezéseket szállító vállalat közlése szerint a továbbfejlesztett rendszer 70%-os kénsav-újrahasznosítási arányt ér el, miközben fenntartja az ügyfelek által megkövetelt részecskekontrollt.
Főbb tudnivalók
- Az új funkció a kénsav 70%-át újrahasznosítja, miközben fenntartja a részecskekontroll teljesítményét – közölte az ACM.
- Egy öntödei ügyfél több mint 50 technológiai rétegen validálta a rendszert.
- Az ACM várakozásai szerint az újrahasznosítási képesség eszközönként évente hozzávetőleg 400 tonna kénsav megtakarítását teszi lehetővé.
Tartalomjegyzék
- Az ACM Research célja a vegyszerfelhasználás csökkentése
- A részecskekontroll továbbra is a kialakítás központi eleme
- Összegzés
Az ACM Research célja a vegyszerfelhasználás csökkentése
A fejlesztés célja a vegyszerfelhasználás mérséklése a kénsav wafer-tisztítás közbeni visszanyerésével és újbóli felhasználásával. Az ACM eszközönként évente hozzávetőleg 400 tonna megtakarítással számol; ezt várható előnyként, nem pedig már elért üzemi eredményként mutatta be.
A vállalat közlése szerint egy öntödei ügyfél több mint 50 technológiai rétegen validálta a rendszert, ami számos tisztítási alkalmazásban támogatja a használatát. A bejelentés nem nevezte meg az ügyfelet.
Az SPM-et a félvezetőgyártásban fotoreziszt eltávolítására, szerves polimermaradványok, fémes szennyeződések és részecskék eltávolítására, valamint a waferek kémiai-mechanikai polírozást követő tisztítására használják.
A részecskekontroll továbbra is a kialakítás központi eleme
Az ACM közlése szerint egywaferes forró SPM-rendszere legfeljebb 15 darab, legalább 15 nanométeres részecskeszámot ér el. A vállalat szerint az új újrahasznosítási képesség az ügyfél-előírásoknak megfelelő szinten tartja a részecskekontroll teljesítményét.
A rendszer szabadalmaztatott fúvókakialakítást is alkalmaz, amelynek célja a savköd okozta kristályos lerakódásokból származó szennyeződés megelőzése. Az ACM szerint ez a kialakítás szükségtelenné teszi a hagyományos rendszereknél előírt, időszakos, ioncserélt vizes kamratisztítást.
Az ACM szerint a kialakítás csökkentheti a berendezés karbantartási igényét, és hozzájárulhat a kihozatal javításához a logikai és memóriaalkalmazásokban. Ezek a lehetséges előnyök – a becsült savmegtakarítással együtt – továbbra is a vállalat várakozásai közé tartoznak.
Összegzés
A fejlesztés az ügyfelek által validált tisztítási teljesítményt sav-újrahasznosítással párosítja. Az ACM által becsült vegyszermegtakarítás várható előny, nem pedig már elért éves eredmény.
További hírek
Jogi nyilatkozat
Ez a FinanceVelix-cikk általános tájékoztatást nyújt, nem minősül személyre szabott pénzügyi, befektetési, jogi vagy adótanácsadásnak. A piaci árak, a kamatlábak és a gazdasági körülmények változhatnak; a befektetések veszteség kockázatával járnak. A tények a közzétételkor rendelkezésre álló információkat tükrözik, és változhatnak. A fontos információkat ellenőrizze önállóan, és szükség esetén forduljon képzett szakemberhez. Egy eszköz, vállalat vagy szolgáltatás említése nem jelent ajánlást.
