ACM Researchは2026年10月21日、170°Cのシングルウエハー式ホット硫酸過酸化水素混合液（SPM）洗浄システムに硫酸リサイクル機能を追加したと発表した。半導体製造装置メーカーである同社によると、改良型システムは顧客が求めるパーティクル制御を維持しながら、硫酸のリサイクル率70%を実現する。
主なポイント
- ACMによると、新機能はパーティクル制御性能を維持しながら硫酸の70%をリサイクルする。
- ファウンドリーの顧客が、50を超えるプロセス層でシステムを検証した。
- ACMは、このリサイクル機能により装置1台当たり年間約400トンの硫酸を節約できると見込んでいる。
目次
ACM Research、化学薬品の消費削減を目指す
今回の改良は、ウエハー洗浄時に硫酸を回収して再利用することで、化学薬品の使用量を減らすことを目的としている。ACMは装置1台当たり年間約400トンの節約を見込んでいるが、この数値は報告済みの稼働実績ではなく、期待される効果として示されている。
同社によると、ファウンドリーの顧客が50を超えるプロセス層でシステムを検証しており、幅広い洗浄用途での利用を裏付けている。発表では顧客名は明らかにされなかった。
SPMは半導体製造において、フォトレジストの剥離、有機ポリマー残渣・金属不純物・パーティクルの除去、化学機械研磨後のウエハー洗浄に使用される。
設計の中核を担うパーティクル制御
ACMによると、シングルウエハー式ホットSPMシステムは、15ナノメートル以上のパーティクル数を15個以下に抑える。新たなリサイクル機能を追加しても、顧客仕様の範囲内でパーティクル制御性能を維持すると同社は説明した。
このシステムには、酸ミストによって生じる結晶析出物からの汚染を防ぐことを目的とした独自のノズル設計も採用されている。ACMによれば、この設計により、従来型システムで必要とされる定期的なチャンバーの脱イオン水洗浄が不要になる。
ACMは、この設計により装置の保守要件を軽減し、ロジックおよびメモリー用途で歩留まりの向上に役立つ可能性があると述べた。硫酸の節約見込みとともに、これらの潜在的な効果は同社の予測にとどまる。
結論
今回の改良は、顧客による検証を経た洗浄性能と酸のリサイクルを組み合わせたものだ。ACMが見込む化学薬品の節約は期待される効果であり、年間の実績として確定したものではない。
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