ACM Research a anunțat pe 21 octombrie 2026 că a adăugat reciclarea acidului sulfuric la sistemul său de curățare cu amestec fierbinte de acid sulfuric și peroxid (SPM), la 170°C, pentru plachete individuale. Furnizorul de echipamente pentru semiconductori a declarat că sistemul îmbunătățit reciclează 70% din acidul sulfuric, menținând totodată controlul particulelor solicitat de clienți.
Concluzii principale
- Noua funcționalitate reciclează 70% din acidul sulfuric, menținând performanța de control al particulelor, potrivit ACM.
- Un client foundry a validat sistemul pe mai mult de 50 de straturi de proces.
- ACM estimează că funcționalitatea de reciclare va economisi aproximativ 400 de tone de acid sulfuric anual pentru fiecare echipament.
Cuprins
- ACM Research urmărește reducerea consumului de substanțe chimice
- Controlul particulelor rămâne esențial în proiectare
- Concluzie
ACM Research urmărește reducerea consumului de substanțe chimice
Modernizarea vizează reducerea consumului de substanțe chimice prin recuperarea și reutilizarea acidului sulfuric în timpul curățării plachetelor. ACM estimează economii anuale de aproximativ 400 de tone pentru fiecare echipament, prezentând această cifră drept un beneficiu preconizat, nu un rezultat operațional raportat.
Compania a declarat că un client foundry a validat sistemul pe mai mult de 50 de straturi de proces, susținând utilizarea acestuia într-o gamă largă de aplicații de curățare. Anunțul nu a identificat clientul.
SPM este utilizat în fabricarea semiconductorilor pentru îndepărtarea fotorezistului, a reziduurilor de polimer organic, a impurităților metalice și a particulelor, precum și pentru curățarea plachetelor după lustruirea chimico-mecanică.
Controlul particulelor rămâne esențial în proiectare
ACM a declarat că sistemul său de curățare cu SPM fierbinte pentru plachete individuale obține un număr de cel mult 15 particule cu dimensiuni de 15 nanometri sau mai mari. Potrivit companiei, noua funcționalitate de reciclare menține performanța de control al particulelor în limitele specificațiilor clienților.
Sistemul utilizează, de asemenea, un design brevetat al duzei, menit să prevină contaminarea cu depuneri cristaline cauzate de ceața acidă. Potrivit ACM, acest design elimină necesitatea curățării periodice a camerei cu apă deionizată, necesară în cazul sistemelor convenționale.
ACM a declarat că designul poate reduce necesarul de întreținere a echipamentelor și poate contribui la îmbunătățirea randamentelor în aplicațiile pentru logică și memorie. Aceste beneficii potențiale, alături de economiile estimate de acid, rămân previziuni ale companiei.
Concluzie
Îmbunătățirea combină performanța de curățare validată de clienți cu reciclarea acidului. Economiile de substanțe chimice estimate de ACM reprezintă un beneficiu preconizat, nu un rezultat anual deja realizat.
Citește mai multe știri
Declinarea responsabilității
Acest articol FinanceVelix oferă informații generale, nu consultanță financiară, de investiții, juridică sau fiscală personalizată. Prețurile de piață, ratele dobânzilor și condițiile economice se pot schimba; investițiile implică riscul unor pierderi. Informațiile reflectă materialele disponibile la momentul publicării și se pot modifica. Verificați independent informațiile importante și consultați un specialist calificat atunci când este necesar. Menționarea unui activ, a unei companii sau a unui serviciu nu reprezintă o recomandare.
