ACM Research ประกาศเมื่อวันที่ 21 ตุลาคม 2026 ว่า บริษัทได้เพิ่มการรีไซเคิลกรดซัลฟิวริกในระบบทำความสะอาดแบบ Hot Sulfuric Peroxide Mixture (SPM) สำหรับเวเฟอร์เดี่ยวที่อุณหภูมิ 170°C ผู้จัดจำหน่ายอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์รายนี้ระบุว่า ระบบที่ได้รับการปรับปรุงสามารถรีไซเคิลกรดซัลฟิวริกได้ในอัตรา 70% โดยยังคงควบคุมอนุภาคได้ตามข้อกำหนดของลูกค้า
ประเด็นสำคัญ
- ACM ระบุว่าความสามารถใหม่นี้รีไซเคิลกรดซัลฟิวริกได้ 70% โดยยังคงประสิทธิภาพการควบคุมอนุภาค
- ลูกค้าซึ่งเป็นโรงงานรับจ้างผลิตชิปได้ตรวจสอบความถูกต้องของระบบในกระบวนการมากกว่า 50 ชั้น
- ACM คาดว่าความสามารถในการรีไซเคิลจะช่วยประหยัดกรดซัลฟิวริกได้ประมาณ 400 ตันต่อเครื่องมือต่อปี
สารบัญ
ACM Research ตั้งเป้าลดการใช้สารเคมี
การปรับปรุงนี้มีเป้าหมายเพื่อลดการใช้สารเคมีด้วยการกู้คืนและนำกรดซัลฟิวริกกลับมาใช้ซ้ำระหว่างการทำความสะอาดเวเฟอร์ ACM ประเมินว่าจะประหยัดได้ประมาณ 400 ตันต่อเครื่องมือต่อปี โดยระบุตัวเลขดังกล่าวว่าเป็นประโยชน์ที่คาดว่าจะได้รับ ไม่ใช่ผลการดำเนินงานที่รายงานแล้ว
บริษัทกล่าวว่าลูกค้าซึ่งเป็นโรงงานรับจ้างผลิตชิปได้ตรวจสอบความถูกต้องของระบบในกระบวนการมากกว่า 50 ชั้น ซึ่งสนับสนุนการใช้งานในแอปพลิเคชันทำความสะอาดที่หลากหลาย ประกาศดังกล่าวไม่ได้ระบุชื่อลูกค้า
SPM ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพื่อขจัดโฟโตรีซิสต์ กำจัดคราบพอลิเมอร์อินทรีย์ สิ่งเจือปนที่เป็นโลหะและอนุภาค รวมถึงทำความสะอาดเวเฟอร์หลังการขัดเงาด้วยกระบวนการขัดเชิงกลและเคมี
การควบคุมอนุภาคยังคงเป็นหัวใจสำคัญของการออกแบบ
ACM ระบุว่าระบบ Hot SPM สำหรับเวเฟอร์เดี่ยวของบริษัทมีจำนวนอนุภาคขนาด 15 นาโนเมตรขึ้นไปไม่เกิน 15 อนุภาค บริษัทกล่าวว่าความสามารถในการรีไซเคิลใหม่นี้ยังคงรักษาประสิทธิภาพการควบคุมอนุภาคให้อยู่ภายในข้อกำหนดของลูกค้า
ระบบยังใช้การออกแบบหัวฉีดเฉพาะที่มีจุดประสงค์เพื่อป้องกันการปนเปื้อนจากผลึกที่เกิดจากละอองกรด ACM ระบุว่าการออกแบบดังกล่าวทำให้ไม่จำเป็นต้องทำความสะอาดห้องของระบบด้วยน้ำปราศจากไอออนเป็นระยะ ซึ่งเป็นสิ่งที่ระบบทั่วไปต้องทำ
ACM ระบุว่าการออกแบบนี้สามารถลดความจำเป็นในการบำรุงรักษาอุปกรณ์และช่วยเพิ่มอัตราผลได้ในแอปพลิเคชันด้านลอจิกและหน่วยความจำ ประโยชน์ที่อาจเกิดขึ้นเหล่านี้ รวมถึงการประหยัดกรดตามที่คาดการณ์ไว้ ยังคงเป็นสิ่งที่บริษัทคาดหวัง
สรุป
การปรับปรุงนี้ผสานประสิทธิภาพการทำความสะอาดที่ลูกค้าตรวจสอบความถูกต้องแล้วเข้ากับการรีไซเคิลกรด การประหยัดสารเคมีที่ ACM คาดการณ์ไว้เป็นประโยชน์ที่คาดว่าจะได้รับ ไม่ใช่ผลการประหยัดรายปีที่เกิดขึ้นแล้ว
อ่านข่าวเพิ่มเติม
ข้อสงวนสิทธิ์
บทความนี้จาก FinanceVelix ให้ข้อมูลทั่วไป ไม่ใช่คำแนะนำด้านการเงิน การลงทุน กฎหมาย หรือภาษีที่ปรับให้เหมาะกับบุคคล ราคาตลาด อัตราดอกเบี้ย และภาวะเศรษฐกิจอาจเปลี่ยนแปลงได้ การลงทุนมีความเสี่ยงที่จะขาดทุน ข้อเท็จจริงสะท้อนข้อมูลที่มีอยู่ ณ เวลาที่เผยแพร่และอาจเปลี่ยนแปลงได้ โปรดตรวจสอบข้อมูลสำคัญด้วยตนเอง และปรึกษาผู้เชี่ยวชาญที่มีคุณสมบัติเหมาะสมเมื่อจำเป็น การกล่าวถึงสินทรัพย์ บริษัท หรือบริการใด ๆ ไม่ถือเป็นการรับรอง
