Ngày 21 tháng 10 năm 2026, ACM Research thông báo đã bổ sung tính năng tái chế axit sulfuric vào hệ thống làm sạch hỗn hợp peroxide sulfuric nóng (SPM) ở nhiệt độ 170°C dành cho từng wafer. Nhà cung cấp thiết bị bán dẫn cho biết hệ thống được nâng cấp đạt tỷ lệ tái chế axit sulfuric 70% đồng thời duy trì khả năng kiểm soát hạt theo yêu cầu của khách hàng.
Điểm chính
- Theo ACM, tính năng mới tái chế 70% axit sulfuric mà vẫn duy trì hiệu suất kiểm soát hạt.
- Một khách hàng xưởng đúc đã xác nhận hệ thống trên hơn 50 lớp quy trình.
- ACM kỳ vọng tính năng tái chế sẽ giúp tiết kiệm khoảng 400 tấn axit sulfuric mỗi thiết bị mỗi năm.
Mục lục
ACM Research hướng tới giảm tiêu thụ hóa chất
Nâng cấp này nhằm giảm lượng hóa chất sử dụng bằng cách thu hồi và tái sử dụng axit sulfuric trong quá trình làm sạch wafer. ACM ước tính mức tiết kiệm hằng năm khoảng 400 tấn cho mỗi thiết bị, và trình bày con số này như một lợi ích dự kiến chứ không phải kết quả vận hành đã được báo cáo.
Công ty cho biết một khách hàng xưởng đúc đã xác nhận hệ thống trên hơn 50 lớp quy trình, qua đó hỗ trợ việc sử dụng hệ thống trong nhiều ứng dụng làm sạch. Thông báo không nêu tên khách hàng.
SPM được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn để bóc lớp cản quang, loại bỏ cặn polymer hữu cơ, tạp chất kim loại và hạt, cũng như làm sạch wafer sau khi đánh bóng cơ học hóa học.
Kiểm soát hạt vẫn là trọng tâm trong thiết kế
ACM cho biết hệ thống SPM nóng xử lý từng wafer của hãng đạt số lượng hạt từ 15 trở xuống đối với các hạt có kích thước từ 15 nanomet trở lên. Theo công ty, tính năng tái chế mới duy trì hiệu suất kiểm soát hạt trong phạm vi thông số kỹ thuật của khách hàng.
Hệ thống cũng sử dụng thiết kế vòi phun độc quyền nhằm ngăn ngừa ô nhiễm do các cặn tinh thể hình thành từ sương axit gây ra. Theo ACM, thiết kế này loại bỏ nhu cầu vệ sinh buồng bằng nước khử ion định kỳ như các hệ thống thông thường yêu cầu.
ACM cho biết thiết kế này có thể giảm yêu cầu bảo trì thiết bị và góp phần cải thiện tỷ lệ thành phẩm trong các ứng dụng logic và bộ nhớ. Những lợi ích tiềm năng đó, cùng với mức tiết kiệm axit dự kiến, vẫn là các kỳ vọng của công ty.
Kết luận
Cải tiến này kết hợp hiệu suất làm sạch đã được khách hàng xác nhận với khả năng tái chế axit. Mức tiết kiệm hóa chất mà ACM dự kiến là lợi ích kỳ vọng, không phải kết quả cả năm đã đạt được.
Đọc thêm tin tức
Tuyên bố miễn trừ trách nhiệm
Bài viết FinanceVelix này cung cấp thông tin chung, không phải lời khuyên tài chính, đầu tư, pháp lý hoặc thuế được cá nhân hóa. Giá thị trường, lãi suất và điều kiện kinh tế có thể thay đổi; đầu tư tiềm ẩn rủi ro thua lỗ. Các thông tin phản ánh tài liệu có sẵn tại thời điểm công bố và có thể thay đổi. Hãy tự kiểm tra những thông tin quan trọng và tham khảo chuyên gia có đủ năng lực khi cần. Việc đề cập đến một tài sản, công ty hoặc dịch vụ không đồng nghĩa với sự chứng thực.
