На 21 октомври 2026 г. ACM Research обяви, че е добавила рециклиране на сярна киселина към системата си за почистване с гореща смес от сярна киселина и водороден пероксид (SPM) при 170°C, предназначена за обработка на единични пластини. Доставчикът на оборудване за полупроводниковата индустрия заяви, че усъвършенстваната система постига 70% степен на рециклиране на сярната киселина, като същевременно поддържа контрола върху частиците, изискван от клиентите.
Основни изводи
- Според ACM новата функционалност рециклира 70% от сярната киселина, като същевременно запазва ефективността на контрола върху частиците.
- Клиент от леярския сегмент е валидирал системата при повече от 50 технологични слоя.
- ACM очаква възможността за рециклиране да спестява приблизително 400 тона сярна киселина годишно за всяка машина.
Съдържание
- ACM Research се стреми да намали потреблението на химикали
- Контролът върху частиците остава водещ принцип в конструкцията
- Заключение
ACM Research се стреми да намали потреблението на химикали
Подобрението има за цел да намали потреблението на химикали чрез извличане и повторно използване на сярна киселина по време на почистването на пластини. ACM оценява годишните спестявания на приблизително 400 тона за всяка машина, като представя тази стойност като очаквана полза, а не като отчетен оперативен резултат.
Компанията заяви, че клиент от леярския сегмент е валидирал системата при повече от 50 технологични слоя, което подкрепя използването ѝ в широк спектър от приложения за почистване. В съобщението не беше посочен клиентът.
SPM се използва в производството на полупроводници за отстраняване на фоторезист, остатъци от органични полимери, метални примеси и частици, както и за почистване на пластини след химико-механично полиране.
Контролът върху частиците остава водещ принцип в конструкцията
ACM заяви, че системата ѝ за почистване с горещ SPM на единични пластини постига брой от 15 или по-малко частици с размер 15 нанометра и повече. Според компанията новата функция за рециклиране запазва ефективността на контрола върху частиците в рамките на спецификациите на клиентите.
Системата използва и патентована конструкция на дюзата, предназначена да предотвратява замърсяване от кристални отлагания, причинени от киселинна мъгла. Според ACM тази конструкция премахва необходимостта от периодично почистване на камерата с дейонизирана вода, изисквано при конвенционалните системи.
ACM заяви, че конструкцията може да намали необходимостта от поддръжка на оборудването и да помогне за подобряване на добива при приложения с логически и паметови чипове. Тези потенциални ползи, наред с прогнозните спестявания на киселина, остават очаквания на компанията.
Заключение
Подобрението съчетава валидирана от клиент ефективност на почистването с рециклиране на киселина. Прогнозните спестявания на химикали на ACM са очаквана полза, а не постигнат годишен резултат.
Още новини
Отказ от отговорност
Тази статия на FinanceVelix предоставя обща информация, а не персонализиран финансов, инвестиционен, правен или данъчен съвет. Пазарните цени, лихвените проценти и икономическите условия могат да се променят; инвестициите носят риск от загуба. Фактите отразяват наличната към момента на публикуване информация и могат да се променят. Проверявайте самостоятелно важната информация и при необходимост се консултирайте с квалифициран специалист. Споменаването на актив, компания или услуга не представлява препоръка.
