21 октября 2026 года ACM Research объявила о добавлении переработки серной кислоты в свою систему очистки отдельных пластин Hot Sulfuric Peroxide Mixture (SPM), работающую при температуре 170°C. Поставщик оборудования для производства полупроводников сообщил, что усовершенствованная система обеспечивает переработку 70% серной кислоты, сохраняя контроль над частицами на уровне, требуемом заказчиками.
Ключевые выводы
- По данным ACM, новая функция позволяет перерабатывать 70% серной кислоты, сохраняя эффективность контроля частиц.
- Заказчик из числа производителей полупроводников на заказ проверил систему более чем на 50 технологических слоях.
- ACM ожидает, что благодаря функции переработки каждый инструмент позволит экономить около 400 тонн серной кислоты в год.
Содержание
- ACM Research стремится снизить расход химических веществ
- Контроль частиц остается центральным элементом конструкции
- Заключение
ACM Research стремится снизить расход химических веществ
Модернизация призвана сократить расход химических веществ за счет извлечения и повторного использования серной кислоты при очистке пластин. ACM оценивает ежегодную экономию примерно в 400 тонн на один инструмент, представляя эту цифру как ожидаемый результат, а не как уже зафиксированный эксплуатационный показатель.
Компания сообщила, что заказчик из числа производителей полупроводников на заказ проверил систему более чем на 50 технологических слоях, подтвердив возможность ее применения в широком спектре задач очистки. В объявлении заказчик не был назван.
SPM применяется в производстве полупроводников для удаления фоторезиста, остатков органических полимеров, металлических примесей и частиц, а также для очистки пластин после химико-механической планаризации.
Контроль частиц остается центральным элементом конструкции
По данным ACM, ее система горячей очистки отдельных пластин Hot SPM обеспечивает уровень частиц размером 15 нанометров и более не выше 15. Компания заявила, что новая функция переработки сохраняет эффективность контроля частиц в пределах спецификаций заказчиков.
В системе также используется запатентованная конструкция сопла, призванная предотвращать загрязнение кристаллическими отложениями, образующимися из кислотного тумана. По данным ACM, благодаря этой конструкции отпадает необходимость в периодической очистке камеры деионизированной водой, предусмотренной в обычных системах.
ACM заявила, что такая конструкция может снизить потребность в техническом обслуживании оборудования и способствовать повышению выхода годной продукции в логических и запоминающих устройствах. Эти потенциальные преимущества, как и прогнозируемая экономия кислоты, остаются ожиданиями компании.
Заключение
Новая функция сочетает подтвержденную заказчиком эффективность очистки с переработкой кислоты. Прогнозируемая ACM экономия химических веществ — это ожидаемая выгода, а не уже достигнутый годовой результат.
Читайте другие новости
Отказ от ответственности
Эта статья FinanceVelix содержит общую информацию и не является персональной финансовой, инвестиционной, юридической или налоговой консультацией. Рыночные цены, процентные ставки и экономические условия могут меняться; инвестиции сопряжены с риском убытков. Факты отражают сведения, доступные на момент публикации, и могут измениться. Самостоятельно проверяйте важную информацию и при необходимости обращайтесь к квалифицированному специалисту. Упоминание актива, компании или услуги не является рекомендацией.
