Spoločnosť ACM Research 21. októbra 2026 oznámila, že do svojho systému čistenia jednotlivých waferov horúcou zmesou kyseliny sírovej a peroxidu (SPM) pri teplote 170 °C pridala recykláciu kyseliny sírovej. Dodávateľ zariadení pre polovodičový priemysel uviedol, že vylepšený systém dosahuje 70 % mieru recyklácie kyseliny sírovej pri zachovaní kontroly častíc požadovanej zákazníkmi.
Kľúčové informácie
- Nová funkcia recykluje 70 % kyseliny sírovej pri zachovaní účinnosti kontroly častíc, uvádza ACM.
- Zákazník z radov zlievarní polovodičov overil systém vo viac než 50 procesných vrstvách.
- ACM očakáva, že funkcia recyklácie ušetrí približne 400 ton kyseliny sírovej ročne na jedno zariadenie.
Obsah
- ACM Research sa zameriava na nižšiu spotrebu chemikálií
- Kontrola častíc zostáva kľúčovou súčasťou návrhu
- Záver
ACM Research sa zameriava na nižšiu spotrebu chemikálií
Cieľom modernizácie je znížiť spotrebu chemikálií získavaním a opätovným využívaním kyseliny sírovej počas čistenia waferov. ACM odhaduje ročnú úsporu približne 400 ton na jedno zariadenie; túto hodnotu uvádza ako očakávaný prínos, nie ako vykázaný prevádzkový výsledok.
Spoločnosť uviedla, že zákazník z radov zlievarní polovodičov overil systém vo viac než 50 procesných vrstvách, čo podporuje jeho využitie v širokom spektre čistiacich aplikácií. V oznámení zákazníka nemenovala.
Zmes SPM sa používa pri výrobe polovodičov na odstraňovanie fotorezistu, zvyškov organických polymérov, kovových nečistôt a častíc, ako aj na čistenie waferov po chemicko-mechanickom leštení.
Kontrola častíc zostáva kľúčovou súčasťou návrhu
ACM uviedla, že jej systém čistenia jednotlivých waferov horúcou zmesou SPM dosahuje počet častíc najviac 15 pri časticiach s veľkosťou 15 nanometrov a viac. Nová funkcia recyklácie zachováva účinnosť kontroly častíc v rámci špecifikácií zákazníkov, uviedla spoločnosť.
Systém využíva aj vlastnú konštrukciu dýzy, ktorá má predchádzať kontaminácii spôsobenej kryštalickými usadeninami vznikajúcimi v dôsledku kyslej hmly. Podľa ACM tento návrh odstraňuje potrebu pravidelného čistenia komory deionizovanou vodou, ktoré si vyžadujú bežné systémy.
ACM uviedla, že tento návrh môže znížiť nároky na údržbu zariadenia a pomôcť zvýšiť výťažnosť pri logických a pamäťových aplikáciách. Tieto potenciálne prínosy, rovnako ako predpokladané úspory kyseliny, zostávajú očakávaniami spoločnosti.
Záver
Vylepšenie spája zákazníkom overenú účinnosť čistenia s recykláciou kyseliny. Predpokladané úspory chemikálií spoločnosti ACM sú očakávaným prínosom, nie dosiahnutým ročným výsledkom.
Ďalšie správy
Upozornenie
Tento článok FinanceVelix poskytuje všeobecné informácie, nie personalizované finančné, investičné, právne ani daňové poradenstvo. Trhové ceny, úrokové sadzby a ekonomické podmienky sa môžu meniť; investovanie je spojené s rizikom straty. Fakty vychádzajú z materiálov dostupných v čase zverejnenia a môžu sa zmeniť. Dôležité informácie si overte nezávisle a v prípade potreby sa poraďte s kvalifikovaným odborníkom. Uvedenie aktíva, spoločnosti alebo služby nepredstavuje odporúčanie.
