21 жовтня 2026 року ACM Research оголосила, що додала переробку сірчаної кислоти до своєї системи очищення окремих пластин гарячою сумішшю сірчаної кислоти та пероксиду (SPM) за температури 170°C. Постачальник обладнання для виробництва напівпровідників заявив, що вдосконалена система забезпечує рівень переробки сірчаної кислоти 70%, зберігаючи контроль над частинками на рівні, якого вимагають клієнти.

Ключові висновки

  • За даними ACM, нова функція дає змогу переробляти 70% сірчаної кислоти, зберігаючи контроль над частинками.
  • Клієнт-напівпровідникове виробництво підтвердив роботу системи на понад 50 технологічних шарах.
  • ACM очікує, що функція переробки дасть змогу заощаджувати приблизно 400 тонн сірчаної кислоти на одиницю обладнання щороку.

Зміст

ACM Research прагне скоротити споживання хімікатів

Модернізація має скоротити використання хімікатів завдяки відновленню та повторному використанню сірчаної кислоти під час очищення пластин. ACM оцінює щорічну економію приблизно у 400 тонн на одиницю обладнання, подаючи цю цифру як очікувану вигоду, а не як уже зафіксований операційний результат.

Компанія повідомила, що клієнт-напівпровідникове виробництво підтвердив роботу системи на понад 50 технологічних шарах, що свідчить про її придатність для широкого спектра завдань з очищення. У повідомленні клієнта не назвали.

SPM використовують у виробництві напівпровідників для зняття фоторезисту, видалення залишків органічних полімерів, металевих домішок і частинок, а також для очищення пластин після хіміко-механічного полірування.

Контроль над частинками залишається ключовим елементом конструкції

За словами ACM, її система очищення окремих пластин гарячою сумішшю SPM забезпечує кількість частинок розміром від 15 нанометрів на рівні 15 або менше. Компанія заявила, що нова функція переробки зберігає контроль над частинками в межах специфікацій клієнтів.

У системі також використано запатентовану конструкцію сопла, призначену для запобігання забрудненню кристалічними відкладеннями, спричиненими кислотним туманом. За даними ACM, ця конструкція усуває потребу в періодичному очищенні камери деіонізованою водою, необхідному для звичайних систем.

ACM заявила, що конструкція може зменшити потребу в технічному обслуговуванні обладнання та сприяти підвищенню виходу придатної продукції у виробництві логічних і мікросхем пам’яті. Ці потенційні переваги, як і прогнозована економія кислоти, залишаються очікуваннями компанії.

Висновок

Модернізація поєднує підтверджені клієнтом характеристики очищення з переробкою кислоти. Прогнозована ACM економія хімікатів є очікуваною вигодою, а не вже досягнутим річним результатом.

Читайте більше новин

Більше новин FinanceVelix

Застереження

Ця стаття FinanceVelix містить загальну інформацію, а не персоналізовані фінансові, інвестиційні, юридичні чи податкові поради. Ринкові ціни, процентні ставки та економічні умови можуть змінюватися; інвестиції пов’язані з ризиком збитків. Факти відображають інформацію, доступну на момент публікації, і можуть змінитися. Самостійно перевіряйте важливу інформацію та за потреби звертайтеся до кваліфікованого фахівця. Згадка про актив, компанію чи послугу не є рекомендацією.