A ACM Research anunciou em 21 de outubro de 2026 que adicionou a reciclagem de ácido sulfúrico ao seu sistema de limpeza de wafer único com Mistura Quente de Ácido Sulfúrico e Peróxido (SPM) a 170 °C. A fornecedora de equipamentos para semicondutores afirmou que o sistema aprimorado alcança uma taxa de reciclagem de ácido sulfúrico de 70%, mantendo o controle de partículas exigido pelos clientes.
Principais conclusões
- A nova capacidade recicla 70% do ácido sulfúrico e mantém o desempenho de controle de partículas, segundo a ACM.
- Um cliente de fundição validou o sistema em mais de 50 camadas de processo.
- A ACM espera que a capacidade de reciclagem economize aproximadamente 400 toneladas de ácido sulfúrico por equipamento ao ano.
Índice
- ACM Research busca reduzir o consumo de produtos químicos
- O controle de partículas continua sendo central ao projeto
- Conclusão
ACM Research busca reduzir o consumo de produtos químicos
A atualização pretende reduzir o uso de produtos químicos recuperando e reutilizando ácido sulfúrico durante a limpeza de wafers. A ACM estima uma economia anual de aproximadamente 400 toneladas por equipamento, apresentando esse valor como um benefício esperado, e não como um resultado operacional já registrado.
A empresa afirmou que um cliente de fundição havia validado o sistema em mais de 50 camadas de processo, o que apoia seu uso em uma ampla variedade de aplicações de limpeza. O anúncio não identificou o cliente.
O SPM é usado na fabricação de semicondutores para remover fotorresiste, resíduos de polímeros orgânicos, impurezas metálicas e partículas, além de limpar wafers após o polimento químico-mecânico.
O controle de partículas continua sendo central ao projeto
A ACM afirmou que seu sistema de SPM quente de wafer único alcança contagens de partículas iguais ou inferiores a 15 para partículas de 15 nanômetros ou maiores. Segundo a empresa, a nova capacidade de reciclagem mantém o desempenho de controle de partículas dentro das especificações dos clientes.
O sistema também usa um projeto de bocal proprietário que visa evitar a contaminação por depósitos cristalinos causados pela névoa ácida. De acordo com a ACM, esse projeto elimina a necessidade de limpeza periódica da câmara com água deionizada, exigida pelos sistemas convencionais.
A ACM afirmou que o projeto pode reduzir as necessidades de manutenção dos equipamentos e ajudar a melhorar os rendimentos em aplicações de lógica e memória. Esses possíveis benefícios, assim como a economia projetada de ácido, continuam sendo expectativas da empresa.
Conclusão
A melhoria combina desempenho de limpeza validado por clientes com reciclagem de ácido. A economia projetada de produtos químicos pela ACM é um benefício esperado, não um resultado anual já alcançado.
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